Pat

J-GLOBAL ID：200903004359009217

基板加熱エア浮上搬送装置及びそれを用いた基板搬送方法

Inventor： 長手 弘 ,  末原 和芳 ,  岸村 敏治 ,  林 武彦 ,  松本 章
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社 ,  株式会社 日立インダストリイズ
Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000347508
Publication number (International publication number)：2002151571
Application date： Nov. 15, 2000
Publication date： May. 24, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】基板の大型化が進んでも、基板を損傷することなく搬送することができる、基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法を提供する。【解決手段】基板浮上プレート22により基板6に下面からのエア23を吹き付けることにより浮上させ、基板端部を該基板の搬送経路に沿って設けられた搬送用ローラ15で挟み込んで搬送する。

Claim (excerpt)：

基板浮上プレートにより基板に下面からのエアを吹き付けることにより浮上させ、前記基板端部を該基板の搬送経路に沿って設けられた搬送用ローラで挟み込んで搬送することを特長とした基板エア浮上搬送装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 J

F-Term (18)：

5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA13 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA37 ,  5F031GA45 ,  5F031GA53 ,  5F031GA63 ,  5F031JA22 ,  5F031LA07 ,  5F031MA37 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 板状体の搬送方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-180447   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 特開平1-197337
  
• 液処理装置の基板搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-126743   Applicant：シャープ株式会社
• 特開昭49-105477
  
• 浮揚装置、浮揚搬送装置および熱処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-127115   Applicant：松下電器産業株式会社