静電吸着装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：細田益稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001170491
Publication number (International publication number)：2002368069
Application date： Jun. 06, 2001
Publication date： Dec. 20, 2002
Summary：

【要約】【課題】腐食性物質に対する耐蝕性があり、電極パターンの間隙における絶縁性を高く維持することが可能であり、これによって電極パターンの微細化に対応可能な構造の静電吸着装置を提供する。【解決手段】静電吸着装置1Bは、誘電体層2、電極4A、4B、冷却部材5、および絶縁性接着剤3を備えている。誘電体層2は、セラミック誘電体からなり、吸着面2aと背面2bとを備えている。電極4A、4Bは、誘電体層2の背面2b側に設けられており、間隙10が設けられている。冷却部材5は、誘電体層2の背面2bと対向するように設けられている。絶縁性接着剤3は、誘電体層2の背面2bと冷却部材5との間に設けられている。絶縁性接着剤3が電極4A、4Bおよび背面2bを被覆し、電極の間隙10に介在している。

Claim (excerpt)：

セラミック誘電体からなり、吸着面と背面とを備えている誘電体層、この誘電体層の前記背面側に設けられている電極であって、間隙が設けられている電極、前記誘電体層の背面と対向するように設けられている冷却部材、および前記誘電体層の前記背面と前記冷却部材との間に設けられている絶縁性接着剤を備えており、前記絶縁性接着剤が前記電極および前記背面を被覆し、前記電極の前記間隙に介在していることを特徴とする、静電吸着装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 , H01L 21/205

FI (2)：

H01L 21/68 R , H01L 21/205

F-Term (9)：

5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA17 , 5F031HA18 , 5F031HA38 , 5F031MA28 , 5F031MA32 , 5F045BB09 , 5F045EM05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

静電チャック装置およびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-311335 Applicant：株式会社巴川製紙所, 株式会社東芝
静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-182814 Applicant：住友金属工業株式会社
静電チャック及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-177607 Applicant：信越化学工業株式会社

Return to Previous Page