大気圧グロ-放電用電極及び該電極を使用したプラズマ処理方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：田中宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994009945
Publication number (International publication number)：1995220895
Application date： Jan. 31, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】大気圧グロ-放電プラズマ処理に使用する大気圧グロ-放電電極及び該電極を使用した大気圧グロ-放電プラズマ処理に関する。【構成】平行電極の少なくとも一方をガラス管1とし、該ガラス管内に電気的に絶縁されたポンプ5によって循環している導電性液体を導入し、この平行電極に交流電圧を印加するようにした大気圧グロ-放電電極である。

Claim (excerpt)：

平行電極の少なくとも一方をガラス管とし、該ガラス管内に電気的に絶縁されたポンプによって循環している導電性液体を導入し、この平行電極に交流電圧を印加するようにしたことを特徴とする大気圧グロ-放電電極。

IPC (3)：

H05H 1/46 , H01J 37/32 , H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

管内大気圧グロープラズマ反応方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平2-409460 Applicant：新技術事業団
大気圧グロ-放電プラズマ用電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-211419 Applicant：イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
グロ-放電プラズマ用電極及びこれを用いたオゾン発生または気体浄化方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-252760 Applicant：イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘

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