感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998058177
Publication number (International publication number)：1999223940
Application date： Mar. 10, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーに対して、一般式(2)または(3)で表されるジアミン化合物と、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】【化3】(R1は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する3価または4価の有機基。R2、R6は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する2価の有機基。R3、R7は炭素数2から30までの2価の有機基。R4は芳香族を含む1価の有機基。R5は炭素数1から10までの有機基、あるいは水素のうち1種または2種以上を含むもの。l、mは1から100000までの整数、nは1または2の整数、p、qは1から4までの整数。)

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーに対して、一般式(2)または(3)で表されるジアミン化合物と、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】【化3】(R1は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する3価または4価の有機基。R2、R6は少なくとも2個以上30個以下の炭素原子を有する2価の有機基。R3、R7は炭素数2から30までの2価の有機基。R4は芳香族を含む1価の有機基。R5は炭素数1から10までの有機基、あるいは水素のうち1種または2種以上を含むもの。l、mは1から100000までの整数、nは1または2の整数、p、qは1から4までの整数。)

IPC (7)：

G03F 7/022 , C08K 5/17 , C08K 5/28 , C08K 5/54 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 501

FI (7)：

G03F 7/022 , C08K 5/17 , C08K 5/28 , C08K 5/54 , C08L 79/08 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ポジ型感光性樹脂組成物とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-263618 Applicant：東レ株式会社
耐高熱性ポジ型レジスト及び耐高熱性レリーフ構造物の製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-139694 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
特開平4-031861

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