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J-GLOBAL ID：200903004893064215

半導体力学量センサの検査方法

Inventor：
五藤 敬介

About 五藤 敬介


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (3)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004036439
Publication number (International publication number)：2005227143
Application date： Feb. 13, 2004
Publication date： Aug. 25, 2005
Summary：
【課題】 半導体力学量センサにおいて、支持基板に電位を与える専用の電極を不要としつつ、可動電極の基板面と垂直方向への変位の異常を検査する。【解決手段】 支持基板11上において周辺部にて固定支持された周辺固定部50、周辺固定部50の内周にて支持基板11に支持され基板面と水平方向に変位可能な可動電極24、周辺固定部50の内周にて支持基板11に固定支持され可動電極24に対向する固定電極31、41を備え、加速度が印加による可動電極24と固定電極31、41との距離変化に基づいて印加加速度を検出する半導体加速度センサ100の検査方法において、固定電極31、41および可動電極24に一定の電位V1、V2、V3を印加しつつ、周辺固定部50に印加する電位V4を変化させることにより、可動電極24と支持基板11との間の電位差を変化させ、可動電極24を基板面と垂直方向へ変位させる。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
支持基板(11)上において当該支持基板(11)の周辺部にて前記支持基板(11)に固定されて支持された半導体からなる周辺固定部(50)と、 前記支持基板(11)上において前記周辺固定部(50)の内周にて前記支持基板(11)に支持され、基板面と水平方向に変位可能となっている半導体からなる可動電極(24)と、 前記支持基板(11)上において前記周辺固定部(50)の内周にて前記支持基板(11)に固定されて支持され、前記可動電極(24)に対向する半導体からなる固定電極(31、41)と、を備え、 力学量が印加されたときの前記可動電極(24)の変位に伴う前記可動電極(24)と前記固定電極(31、41)との距離変化に基づいて印加力学量を検出するようにした半導体力学量センサを検査する検査方法において、 前記固定電極(31、41)および前記可動電極(24)に一定の電位を印加しつつ、前記周辺固定部(50)に印加する電位を変化させることにより、 前記可動電極(24)と前記支持基板(11)との間の電位差を変化させ、前記可動電極(24)を前記基板面と垂直方向へ変位させるようにしたことを特徴とする半導体力学量センサの検査方法。
IPC (4)：
G01P21/00 ,  G01P3/44 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84
FI (4)：
G01P21/00 ,  G01P3/44 Z ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
F-Term (13)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112DA03 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)

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