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J-GLOBAL ID：200903005080221220

固体撮像装置及びその製造方法及びカメラモジュール

Inventor：
西田 和弘

About 西田 和弘

, 
前田 弘

About 前田 弘

, 
山本 清文

About 山本 清文


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小林 和憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004304768
Publication number (International publication number)：2006032886
Application date： Oct. 19, 2004
Publication date： Feb. 02, 2006
Summary：
【課題】 固体撮像装置のカバーガラスに対し、少ない工数で、かつローコストに光学フィルタ層を形成する。【解決手段】 第1の工程では、固体撮像装置のカバーガラスの基材となるガラス基板の上に、赤外線カットフィルタ層や光学ローパスフィルタ層等の光学フィルタ層を形成する。この光学フィルタ層の形成には、フィルタ板の接合や、成膜によるフィルタ膜の形成等が用いられる。第2工程及び第3工程によって、多数の固体撮像素子が設けられた半導体ウエハとガラス基板とを接合する。第4工程では、ガラス基板と半導体ウエハとを各固体撮像素子ごとにダイシングし、多数の固体撮像装置を一括して製造する。これにより、一度の光学フィルタ層の形成により、多数の固体撮像装置のカバーガラス上に光学フィルタ層を形成することができる。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
多数の固体撮像素子が形成された半導体ウエハの上に、前記固体撮像素子を覆って保護する透明基板を接合し、各前記固体撮像素子ごとに前記半導体ウエハと前記透明基板とを裁断することによって形成される固体撮像装置において、 前記透明基板の少なくとも一方の表面には、前記半導体ウエハ及び前記透明基板とともに裁断されてなる光学フィルタ層が形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/225 ,  H04N 5/335
FI (3)：
H01L27/14 D ,  H04N5/225 D ,  H04N5/335 V
F-Term (30)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118EA20 ,  4M118GC03 ,  4M118GC08 ,  4M118GC11 ,  4M118GC14 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118HA02 ,  4M118HA04 ,  4M118HA05 ,  4M118HA07 ,  4M118HA11 ,  4M118HA26 ,  4M118HA30 ,  5C024AX01 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024EX23 ,  5C122EA57 ,  5C122FB18 ,  5C122FB20 ,  5C122GE10 ,  5C122GE17 ,  5C122GE20 ,  5C122GE22
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • カメラモジュール
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-217876   Applicant：ウエスト電気株式会社
  • 固体撮像装置及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-029511   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
Cited by examiner (5)
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