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J-GLOBAL ID:200903005086018656
転写体の製造方法、光硬化性組成物、および微細構造体の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 柳井 則子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005238817
Publication number (International publication number):2006110997
Application date: Aug. 19, 2005
Publication date: Apr. 27, 2006
Summary:
【課題】転写体の製造方法、光硬化性組成物、および該光硬化性組成物を用いた微細構造体の製造方法を提供する。【解決手段】主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体を形成しうる含フッ素単量体(A)および重合開始剤(B)を含有する硬化性組成物を、最小寸法が50μm以下のパターンが表面に形成されたモールドと接触した状態で硬化させるモールドのパターンが転写された転写体の製造方法、ならびに微細パターンの反転パターンを有するモールドの該反転パターン面と、基材表面との間に挟持して押圧した後に光照射により硬化することによって、微細パターンを表面に有する硬化物を形成する光硬化性組成物であり、かつ主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体を形成する、たとえばCF2=CFCF2C(CF3)(OH)CH2CH=CH2と光重合開始剤を含み実質的に溶媒を含まない光硬化性組成物。【選択図】図3
Claim (excerpt):
モールドのパターンが転写された転写体の製造方法であって、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体を形成しうる含フッ素単量体(A)および重合開始剤(B)を含有する硬化性組成物を、最小寸法が50μm以下のパターンが表面に形成されたモールドと接触した状態で硬化させることを特徴とする転写体の製造方法。
IPC (6):
B29C 59/02
, C08F 36/20
, C08F 16/32
, H01L 21/027
, B82B 3/00
, B82B 1/00
FI (6):
B29C59/02 Z
, C08F36/20
, C08F16/32
, H01L21/30 502D
, B82B3/00
, B82B1/00
F-Term (27):
4F209AA16
, 4F209AA44
, 4F209AB03
, 4F209AC05
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN09
, 4J100AE65P
, 4J100AE72P
, 4J100AE78P
, 4J100AR32P
, 4J100AS13P
, 4J100AU28P
, 4J100BA02P
, 4J100BA03P
, 4J100BA05P
, 4J100BA20P
, 4J100BB07P
, 4J100BB10P
, 4J100BB18P
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100FA03
, 4J100JA46
, 5F046AA28
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
-
米国特許第5772905号明細書
-
微細パターン形成装置、その製造方法、および形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-130608
Applicant:日本電気株式会社
-
加工方法及び成形体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-358296
Applicant:株式会社東芝
-
米国特許第6482742号明細書
-
米国特許第6719915号明細書
-
米国特許第6696220号明細書
-
微細パターンの製造方法および転写材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-231139
Applicant:鐘淵化学工業株式会社
-
含フッ素重合体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-089804
Applicant:旭硝子株式会社
-
光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-189295
Applicant:旭硝子株式会社
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