光画像計測装置及び光画像計測方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三澤正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004226923
Publication number (International publication number)：2006047053
Application date： Aug. 03, 2004
Publication date： Feb. 16, 2006
Summary：

【課題】検出感度を向上させて干渉光の信号強度や位相情報を有効に求めることが可能な光画像計測装置を提供する。【解決手段】周期的に強度変調された光ビームを出力する広帯域光源2と、光ビームを直線偏光に変換する偏光板3と、光ビームを信号光Sと参照光Rに分割し、更に信号光Sと参照光Rとを重畳させて干渉光Lを生成するハーフミラー6と、参照光Rを円偏光に変換する波長板7と、参照光Rの周波数をシフトさせる周波数シフタ8及びピエゾ素子9Aにより移動される参照鏡9と、干渉光LのS偏光成分L1とP偏光成分L2とを抽出する偏光ビームスプリッタ11と、偏光成分L1、L2をそれぞれ検出して検出信号を出力するCCD21、22と、その検出信号に基づいて干渉光Lの信号強度及び位相を算出する信号処理部20とを備え、その算出結果を基に被測定物体Oの画像を形成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光ビームを周期的に強度変調させて出力する光ビーム出力手段と、前記光ビームの偏光特性を直線偏光に変換する第1の変換手段と、前記光ビームを被測定物体を経由する信号光と参照物体を経由する参照光とに分割する分割手段と、直線偏光の前記信号光又は前記参照光の偏光特性を変換する第2の変換手段と、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを、前記光ビームの前記強度変調の周波数と略等しい量だけ相対的にシフトさせる周波数シフト手段と、前記第1及び第2の変換手段により変換された偏光特性をそれぞれ有し、前記周波数シフト手段により周波数がシフトされ、前記被測定物体と前記参照物体とをそれぞれ経由した前記信号光と前記参照光とを重畳させて第1の干渉光を生成する重畳手段と、前記生成された第1の干渉光の異なる複数の偏光成分を抽出する抽出手段と、前記抽出された前記第1の干渉光の各偏光成分を検出する第1の検出手段と、前記検出された前記各偏光成分に基づいて前記第1の干渉光の信号強度もしくは位相を算出する演算手段と、を備え、前記算出された前記第1の干渉光の信号強度もしくは位相に基づいて前記被測定物体の画像を形成することを特徴とする光画像計測装置。

IPC (4)：

G01N 21/17 , G01N 21/21 , G01N 21/27 , G01B 11/24

FI (4)：

G01N21/17 630 , G01N21/21 Z , G01N21/27 A , G01B11/24 D

F-Term (35)：

2F065AA45 , 2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065DD06 , 2F065FF51 , 2F065GG01 , 2F065GG24 , 2F065JJ19 , 2F065LL04 , 2F065LL13 , 2F065LL33 , 2F065LL35 , 2F065LL37 , 2F065LL53 , 2F065LL57 , 2F065UU05 , 2F065UU07 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE09 , 2G059GG02 , 2G059GG03 , 2G059GG08 , 2G059GG10 , 2G059JJ11 , 2G059JJ15 , 2G059JJ17 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059MM09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

2次元光ヘテロダイン検出法を用いた光画像計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-153919 Applicant：科学技術振興事業団
光計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-239883 Applicant：科学技術振興事業団
変位計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-171444 Applicant：キヤノン株式会社

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