マイクロプローブ並びにその製造装置及び方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005041142
Publication number (International publication number)：2005233960
Application date： Feb. 17, 2005
Publication date： Sep. 02, 2005
Summary：

【課題】表面に有用な保護層をもったマイクロプローブを実現する。【解決手段】プローブ芯材の表面に、炭化水素ガスをソースガスとして用いた高周波プラズマ化学気相析出法によって水素含有アモルファス状炭素(DLC)膜層を形成することにより、電気絶縁性、かつ高硬度性をもった均一な厚さの保護膜層を形成してなるマイクロプローブを実現できる。【選択図】図2

Claim 1：

先端にテーパ部を有しかつ針形状のガラス材上に第1の金属膜層を形成してなる第1のプローブ芯材の表面に、炭化水素ガスをソースガスとして用いた高周波プラズマ化学気相析出法によって第1の水素含有アモルファス状炭素膜層を形成したことを特徴とするマイクロプローブ。

IPC (5)：

G01N1/00 , B01J3/00 , B01J19/08 , G01N27/30 , G01N27/416

FI (6)：

G01N1/00 101A , G01N1/00 101K , B01J3/00 J , B01J19/08 H , G01N27/30 B , G01N27/46 341M

F-Term (17)：

2G052AA33 , 2G052AD32 , 2G052CA18 , 2G052GA23 , 2G052HA17 , 2G052JA13 , 4G075AA24 , 4G075CA25 , 4G075CA47 , 4G075CA62 , 4G075DA02 , 4G075DA05 , 4G075EB01 , 4G075EC21 , 4G075EE02 , 4G075FA03 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

顕微鏡検査プローブ
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-506478 Applicant：ルイスアーロン
マイクロ熱電対、マイクロ電極、電界放出チップ及び力検出能力を備えたマイクロ磁気センサに適した先細り構造
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平8-533352 Applicant：ルイス,アーロン

Cited by examiner (4)

近接場光プローブおよび近接場光記録再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-075653 Applicant：株式会社東芝
釣針および釣針への硬質被膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-149673 Applicant：シチズン時計株式会社, 株式会社和光通商, 株式会社ハヤブサ
特開平1-100277

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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