Pat
J-GLOBAL ID：200903042203587520
顕微鏡検査プローブ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995506478
Publication number (International publication number)：1997502018
Application date： Aug. 05, 1994
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：
【要約】ナノメータ寸法の表面微細構造及び他の特性を測定するための汎用の力センサは、中空のマイクロピペット(1.1)を含み、その先端にて約7.5ナノメータの内径を有する。プローブは、曲げるために先端付近を加熱することにより得られる片持ちはり構造を含む。反射コーティング(1.4)がさらにマイクロピペットの外表面に被われる。
Claim (excerpt)：
先端の直径が10ナノメータ以下まで引かれ、横方向の力センサとして使用可能であり、アルミニウムのような金属にて当該構造の外側をコーティングすることにより副波長光の点光源を生成するために同時に使用され、かつ、副波長で先端を通り光を通過させ又は光学的に又は電気的に剌激可能な適切な材料にて先端において副波長の光を生成し該光が光学的な顕微鏡検査及びリソグラフィーを走査する近視野に使用可能である、先細りのマイクロピペット又は光学的繊維のような構造からなる装置。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 11/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 E
, G01B 11/00 F
, H01J 37/28 Z
Cited by examiner (19)
-
特開平4-291310
-
微細表面観察装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-256817
Applicant：セイコー電子工業株式会社, 藤平正道
-
力検知手段を含む走査型顕微鏡
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-294894
Applicant：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
-
走査型近視野原子間力顕微鏡、及びその顕微鏡に使用されるプローブ、及びそのプローブの製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-052248
Applicant：セイコー電子工業株式会社
-
原子間力顕微鏡一体型フォトン走査型トンネル顕微鏡
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-312547
Applicant：株式会社ニコン
-
特開平2-189142
-
特開平4-291310
-
特開平2-189142
-
特開平4-291310
-
特開平4-291310
-
表面解析装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-002107
Applicant：株式会社東芝
-
近接視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-299237
Applicant：日本電信電話株式会社
-
探針先端極限化法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-191504
Applicant：株式会社日立製作所
-
走査型近視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-053810
Applicant：株式会社ニコン
-
特開平4-171646
-
特開平4-136743
-
カンチレバー変位検出装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-267875
Applicant：オリンパス光学工業株式会社
-
特開昭61-158312
-
特表平4-505653
Show all
Article cited by the Patent：
Return to Previous Page
