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J-GLOBAL ID：200903005584587340

微小型押成形装置

Inventor：
松井 真二

About 松井 真二


Applicant, Patent owner：
株式会社エリオニクス

About 株式会社エリオニクス


Agent (4)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002190094
Publication number (International publication number)：2004034300
Application date： Jun. 28, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：
【課題】型と被加工材の位置ずれを防ぎ、型と被加工材の平行度を維持することができる微小型押成形装置を提供する。【解決手段】型支持部2により支持された型1と被加工材支持部5により支持された被加工材4を互いに押し付けて被加工材4に型1のパターンを転写する微小型押成形装置において、型支持部2又は被加工材支持部5のいずれか一方に磁石8を配置し、他方に磁性体又は磁石8を配置し、磁気吸引力により型1と被加工材4との間の押し付け方向と直交する方向への相対移動を防止するようにした。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
型支持部により支持された型と被加工材支持部により支持された被加工材を互いに押し付けて被加工材に型のパターンを転写する微小型押成形装置において、 前記型支持部又は被加工材支持部のいずれか一方に磁石を配置し、他方に磁性体又は磁石を配置し、磁気吸引力により前記型と被加工材との間の押し付け方向と直交する方向への相対移動を防止するようにしたことを特徴とする微小型押成形装置。
IPC (3)：
B29C59/02 ,  B81C5/00 ,  H01L21/02
FI (3)：
B29C59/02 B ,  B81C5/00 ,  H01L21/02 Z
F-Term (15)：
4F209AC03 ,  4F209AD05 ,  4F209AD08 ,  4F209AG01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN13 ,  4F209PN20 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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