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J-GLOBAL ID:200903005807411060
感放射線性樹脂組成物
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小栗 昌平 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000025548
Publication number (International publication number):2001215714
Application date: Feb. 02, 2000
Publication date: Aug. 10, 2001
Summary:
【要約】【課題】 遠紫外光を使用するリソグラフィの薄膜化に対応する技術課題を解決することであり、具体的には薄膜プロセスにおいても十分な面内均一性が保持され、高解像力でパターン倒れの少ない、所望のレジストパターンを再現し得る感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する性質を有し、しかもSi元素を含有している樹脂と、光酸発生剤と、溶剤とを含み、25°Cでの粘度が6.0mPa・sec以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
Claim (excerpt):
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する性質を有し、しかもSi元素を含有している樹脂と、光酸発生剤と、溶剤とを含み、25°Cでの粘度が6.0mPa・sec以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3):
G03F 7/075 511
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
FI (3):
G03F 7/075 511
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
F-Term (15):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025BJ06
, 2H025CB33
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB51
, 2H025CC03
Patent cited by the Patent: