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J-GLOBAL ID：200903005933708095
荷電粒子線装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000333534
Publication number (International publication number)：2002134048
Application date： Oct. 27, 2000
Publication date： May. 10, 2002
Summary：
【要約】【課題】荷電粒子線装置の光学系自動補正装置が幾つか出願されているが、解析精度が足りない、解析結果検証機能が無い、試料依存性が大きい等、各々の性能に問題があった。【解決手段】異なる条件で撮影した荷電粒子線像を用い、視差による位置ずれ量を解析して荷電粒子線装置の光学系を自動補正する。位置ずれ量解析には1画素未満の解析精度を持つ、フーリエ変換像の位相差解析に基づく解析法を採用する。また本解析法で計算される画像間の一致度を解析結果の信頼性の評価基準として用いる。【効果】視差に基づく解析法は試料依存性が少ないので動作範囲が拡大する。また高精度位置ずれ解析法の採用によって装置補正精度は1桁向上する。一致度を判定基準とした誤動作防止フローの付加により、無人稼働可能な装置となる。また検査装置においては一致度を検査状態モニターや状態記録として利用できる。
Claim (excerpt)：
荷電粒子線用レンズの試料に対する焦点が第1の位置にあるときに得られる第1の荷電粒子線像と前記焦点が第2の位置にあるときに得られる第2の荷電粒子線像を記録する記録部と、第1と第2の荷電粒子線像の間の位置ずれ量と第1と第2の荷電粒子線像の間の類似の度合いを表す一致度を解析する計算部と、前記位置ずれ量を荷電粒子線用レンズに対する一次荷電粒子線の軸ずれ量に変換できるか否かを前記一致度から判断する判断部と、前記位置ずれ量から計算された軸ずれ補正信号を受けて一次荷電粒子線の荷電粒子線用レンズに対する軸ずれを補正する軸ずれ補正部と、を持つことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (4)：
H01J 37/04
, H01J 37/153
, H01J 37/21
, H01J 37/28
H01J 37/04 B
, H01J 37/153 B
, H01J 37/21 B
, H01J 37/28 Z
5C030AA07
, 5C030AA08
, 5C033JJ02
, 5C033MM05
, 5C033UU02
, 5C033UU05
, 5C033UU06
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