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J-GLOBAL ID：200903006006306172

視野移動方法

Inventor：
大橋 主郎

About 大橋 主郎

, 
寺本 篤司

About 寺本 篤司

, 
村越 貴行

About 村越 貴行


Applicant, Patent owner：
名古屋電機工業株式会社

About 名古屋電機工業株式会社


Agent (1)： 橘 哲男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000091181
Publication number (International publication number)：2001281170
Application date： Mar. 29, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 カメラで試料を観察しながらステージ移動する方法としては、手動操作によって最初は高速で移動させ、観察対象の近傍まで達すると低速で移動させるといった作業を行うが、この作業は面倒であり、かつ、カメラの視野中心位置に移動させるのが難しいと共に、中心位置までの移動に時間がかかるといった問題点があった。【解決手段】 カメラ2により試料4を撮影する際の視野移動方法であって、カメラまたはステージを移動して、該ステージ上に搭載された試料の試料上の任意の一点をカメラ視野の中心に移動させてその位置を記憶し、次に、カメラ視野中心からカメラ視野内の指示された位置への移動距離を演算してカメラまたはステージを移動し、カメラ視野内の指示された箇所をカメラ視野の中心へ移動するようにした視野移動方法である。
Claim (excerpt)：
カメラにより試料を撮影する際の視野移動方法であって、カメラまたはステージを移動して、該ステージ上に搭載された試料の試料上の任意の一点をカメラ視野の中心に移動させてその位置を記憶し、次に、カメラ視野中心からカメラ視野内の指示された位置への移動距離を演算してカメラまたはステージを移動し、カメラ視野内の指示された箇所をカメラ視野の中心へ移動することを特徴とする視野移動方法。
IPC (7)：
G01N 23/04 ,  G01B 11/00 ,  G03B 17/56 ,  H04N 5/225 ,  H04N 5/232 ,  H04N 5/32 ,  H04N 7/18
FI (7)：
G01N 23/04 ,  G01B 11/00 A ,  G03B 17/56 B ,  H04N 5/225 C ,  H04N 5/232 B ,  H04N 5/32 ,  H04N 7/18 L
F-Term (45)：
2F065AA51 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM21 ,  2F065PP12 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  2F065UU06 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA05 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001LA11 ,  2G001PA11 ,  2H105AA03 ,  5C022AA01 ,  5C022AA15 ,  5C022AB51 ,  5C022AB65 ,  5C022AC04 ,  5C022AC13 ,  5C022AC27 ,  5C022AC31 ,  5C022AC69 ,  5C022AC74 ,  5C022CA00 ,  5C024AX11 ,  5C024AX14 ,  5C024CY49 ,  5C024HX60 ,  5C054CA02 ,  5C054CC00 ,  5C054CF05 ,  5C054EA01 ,  5C054FA00 ,  5C054FE19 ,  5C054HA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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