磁気抵抗効果素子およびその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (22)：鈴江武彦 , 蔵田昌俊 , 河野哲 , 中村誠 , 福原淑弘 , 峰隆司 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 勝村紘 , 橋本良郎 , 風間鉄也 , 河井将次 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓 , 市原卓三 , 山下元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008019365
Publication number (International publication number)：2009182129
Application date： Jan. 30, 2008
Publication date： Aug. 13, 2009
Summary：

【課題】より大きなMR変化率を実現できる磁気抵抗効果素子を提供する。【解決手段】磁化方向が実質的に一方向に固着された磁化固着層と、磁化方向が外部磁界に対応して変化する磁化自由層と、前記磁化固着層と前記磁化自由層との間に設けられた中間層と、前記磁化固着層または磁化自由層の上に設けられたキャップ層と、前記磁化固着層中、前記磁化自由層中、前記磁化固着層と前記中間層との界面、前記中間層と前記磁化自由層との界面、および前記磁化固着層または磁化自由層と前記キャップ層との界面のいずれかに設けられ、酸素または窒素を含有する材料で形成された機能層とを含む磁気抵抗効果膜と、前記磁気抵抗効果膜の膜面に垂直に電流を流すための一対の電極とを有し、前記機能層の結晶配向面が、その上または下の隣接する層の結晶配向面と異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

磁化方向が実質的に一方向に固着された磁化固着層と、磁化方向が外部磁界に対応して変化する磁化自由層と、前記磁化固着層と前記磁化自由層との間に設けられた中間層と、前記磁化固着層または磁化自由層の上に設けられたキャップ層と、前記磁化固着層中、前記磁化自由層中、前記磁化固着層と前記中間層との界面、前記中間層と前記磁化自由層との界面、および前記磁化固着層または磁化自由層と前記キャップ層との界面のいずれかに設けられ、酸素または窒素を含有する材料で形成された機能層とを含む磁気抵抗効果膜と、前記磁気抵抗効果膜の膜面に垂直に電流を流すための一対の電極とを有し、前記機能層の結晶配向面が、その上または下の隣接する層の結晶配向面と異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (6)：

H01L 43/08 , H01L 43/12 , H01L 21/824 , H01L 27/105 , G11B 5/39 , G01R 33/09

FI (5)：

H01L43/08 Z , H01L43/12 , H01L27/10 447 , G11B5/39 , G01R33/06 R

F-Term (64)：

2G017AA10 , 2G017AD55 , 2G017AD63 , 2G017AD65 , 4M119AA17 , 4M119BB03 , 4M119CC02 , 4M119DD04 , 4M119DD05 , 4M119DD06 , 4M119DD07 , 4M119DD08 , 4M119DD09 , 4M119DD33 , 4M119DD42 , 4M119DD45 , 4M119EE03 , 4M119EE22 , 4M119EE29 , 4M119FF05 , 4M119FF06 , 4M119FF15 , 4M119FF17 , 4M119JJ01 , 4M119JJ02 , 5D034BA03 , 5D034BA05 , 5D034BA06 , 5D034BA12 , 5D034CA06 , 5D034DA07 , 5F092AA02 , 5F092AB02 , 5F092AB07 , 5F092AB08 , 5F092AC08 , 5F092AD03 , 5F092BB09 , 5F092BB10 , 5F092BB15 , 5F092BB17 , 5F092BB22 , 5F092BB31 , 5F092BB34 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB42 , 5F092BB45 , 5F092BB51 , 5F092BB53 , 5F092BB55 , 5F092BC04 , 5F092BC07 , 5F092BC13 , 5F092BC18 , 5F092BC19 , 5F092BC22 , 5F092BE13 , 5F092BE14 , 5F092BE21 , 5F092BE25 , 5F092CA13 , 5F092CA15 , 5F092CA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-263251 Applicant：株式会社東芝

Cited by examiner (7)

酸化物磁性層と金属磁性膜を積層した磁気抵抗効果素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-216125 Applicant：株式会社日立製作所
磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気記憶装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-032261 Applicant：株式会社東芝
磁気抵抗効果素子、及びそれを備える磁気ヘッド並びに磁気記録再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-378954 Applicant：株式会社日立製作所

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