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J-GLOBAL ID:200903006474233697
透明電極用基材
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
志賀 正武 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003009758
Publication number (International publication number):2003323818
Application date: Jan. 17, 2003
Publication date: Nov. 14, 2003
Summary:
【要約】【課題】色素増感太陽電池の透明電極板などに用いられる耐熱性が不十分なITO膜が形成された透明電極用基材が、300°C以上の高温に曝されても、その電気抵抗値が上昇しないようにする。【解決手段】ガラス板1などの透明基材上にITO膜2を形成し、このITO膜2上に耐熱性の高いFTO膜3を積層する。FTO膜2以外にアンチモンドープ酸化スズ(ATO)、酸化スズ(TO)、フッ素ドープ酸化亜鉛(FZO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、酸化亜鉛(ZO)などからなる透明導電膜を用いてもよい。ITO膜2上に積層されるFTO膜3などの透明導電膜がITO膜2の成膜後に連続して成膜されたものであることが好ましい。
Claim (excerpt):
透明基材上に2層以上の異なる透明導電膜が形成され、上層の透明導電膜が下層の透明導電膜よりも耐熱性が高いことを特徴とする透明電極用基材。
IPC (4):
H01B 5/14
, H01B 13/00 503
, H01L 31/04
, H01M 14/00
FI (4):
H01B 5/14 A
, H01B 13/00 503 B
, H01M 14/00 P
, H01L 31/04 Z
F-Term (29):
5F051AA14
, 5F051AA20
, 5F051CB15
, 5F051FA03
, 5F051FA04
, 5F051FA18
, 5F051FA24
, 5F051GA03
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FC06
, 5G323BA02
, 5G323BA03
, 5G323BA04
, 5G323BB02
, 5G323BB03
, 5G323BB05
, 5H032AA06
, 5H032AS06
, 5H032AS16
, 5H032BB05
, 5H032BB10
, 5H032EE02
, 5H032EE07
, 5H032EE18
, 5H032HH01
, 5H032HH04
, 5H032HH06
, 5H032HH08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (8)
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特開昭59-149607
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特開平1-132004
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酸化錫三元機能薄膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-225830
Applicant:科学技術振興事業団
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特開平4-230906
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錫添加酸化インジウム三元機能膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-282106
Applicant:科学技術振興事業団
-
特開平2-094210
-
透明導電膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-152753
Applicant:旭硝子株式会社
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透明電極及び透明電極のパターニング方法及びそれを用いた半導体素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-390983
Applicant:三洋電機株式会社
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