非接触型静電吸着装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999152153
Publication number (International publication number)：2000340640
Application date： May. 31, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】被吸着体が静電チャック誘電体と直接接触せずに、静電力により吸着できる新しい類型の静電チャックを提供する。【解決手段】平面状の電極と、電気的接続手段と吸着物を載置する平滑な表面を有する誘電体から構成される静電チャックにおいて、誘電体と異なる材料であってその体積抵抗率が誘電体の体積抵抗率より大きい材料で構成された絶縁性突起を誘電体表面上に設けることとした。

Claim (excerpt)：

電極を内包し、少なくとも電気的接続手段と、吸着物を載置する平滑な表面を有する誘電体から構成される静電チャックにおいて、該吸着物を載置する平滑な表面に、体積抵抗率が前記誘電体の体積抵抗率より大きい材料で形成された絶縁性突起が設けられたことを特徴とする静電チャック

IPC (3)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

F-Term (7)：

3C016AA01 , 3C016BA02 , 3C016EA01 , 3C016GA10 , 5F031HA08 , 5F031HA10 , 5F031PA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

静電チャック及びこの静電チャックを用いた被吸着体の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-298388 Applicant：東陶機器株式会社, 日電アネルバ株式会社
静電吸着装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-314489 Applicant：株式会社日立製作所
静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-064122 Applicant：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社

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