画像自動収集装置およびその方法

Inventor： , , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999295017
Publication number (International publication number)：2000200813
Application date： Oct. 18, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】微細な欠陥でも、高倍率の撮像視野内に短時間に位置付けすることによって、微細な欠陥の画像を高倍率で撮像して高解像度を有するデジタル画像信号を取得してその特徴量やその性質等を分析する。【解決手段】走査型電子顕微鏡101であって、外観検査装置から取得される大きな欠陥についての第1の位置座標に関する情報を基に、大きな欠陥を低倍率の視野内に位置付けして低倍率で撮像して得られるデジタル画像信号を基にその欠陥の第2の位置座標を算出してずれ補正係数を算出する手段15、20と、小さな欠陥についてずれ補正係数で記憶部から得られる小さな欠陥の第1の位置座標を補正して第2の位置座標を算出し、第2の位置座標に関する情報を基に、小さな欠陥を高倍率の視野内に位置付けして高倍率で撮像してデジタル画像信号を収集する手段20とを備える。

Claim (excerpt)：

被対象基板を載置するステージと、電子ビームを出射する電子銃と、該電子銃から出射された電子ビームを収束する収束レンズと、該収束レンズで収束される電子ビームを前記被対象基板の表面に2次元に走査させる走査手段と、該収束レンズによって収束される電子ビームを前記被対象基板の表面上にスポット状に集束させる対物レンズと、前記走査手段による電子ビームの走査により前記被対象基板より生じる電子の強度を検出してアナログ画像信号を出力する検出器と、該検出器から検出されて出力されたアナログ画像信号をサンプリングしてデジタル画像信号に変換するA/D変換部を有する画像入力部と、該画像入力部から得られるデジタル画像信号を記憶する画像記憶部とを備えた走査型電子顕微鏡であって、外観検査装置から取得される被対象基板上に存在する欠陥についての寸法およびその第1の位置座標に関する情報を記憶する記憶部と、該記憶部から得られる被対象基板上に存在する寸法の大きな欠陥についての第1の位置座標に関する情報を基に、大きな欠陥を前記走査手段を制御して得られる低倍率の撮像倍率の視野内に位置付けし、該位置付けされた大きな欠陥を低倍率の撮像倍率で撮像してその大きな欠陥のデジタル画像信号を前記画像記憶部に記憶し、該記憶された大きな欠陥のデジタル画像信号を基にその欠陥の第2の位置座標を算出し、該算出された第2の位置座標と前記第1の位置座標との関係からずれ補正係数を算出するずれ補正係数算出手段とを備えたことを特徴とする画像自動収集装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 , G01N 23/225 , H01J 37/22 502

FI (3)：

H01L 21/66 J , G01N 23/225 , H01J 37/22 502 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体ウェーハの表面異物検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-181209 Applicant：コマツ電子金属株式会社
異物組成自動分析装置及び異物組成自動分析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-095071 Applicant：富士通株式会社
半導体製造ラインにおける鏡面基板の検査方法およびその装置並びに半導体製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-345889 Applicant：株式会社日立製作所

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