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J-GLOBAL ID：200903006618076567
カーボンファイバーが固定された基体の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002304324
Publication number (International publication number)：2004137121
Application date： Oct. 18, 2002
Publication date： May. 13, 2004
Summary：
【課題】カーボンナノチューブを簡単な工程で生成し、基板上に成膜することで、CNTパターニング工程が簡略化され、コストダウンに効果がある。【解決手段】不活性ガス雰囲気中で炭素電極からなる陽極2と、該炭素電極2に対向に配置された陰極3との間のアーク放電により、カーボンを蒸発、凝縮させてナノチューブを生成させると同時に、生成させたカーボンナノチューブを不活性ガス中に分散し、不活性ガスと共に搬送管5を通じて搬送し、ノズル10より噴射させることにより、膨張形成対象物である基板12上にカーボンナノチューブを形成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
カーボンファイバーが固定された基体の製造方法であって、(A)炭素を有する陽極と該陽極と対向する陰極とが内部に配置された第1チャンバーと、基体が内部に配置された第2チャンバーと、を用意する工程と、
(B)前記第1チャンバーと第2チャンバーとを搬送管を介して連通すると共に、前記第1チャンバー内の圧力よりも前記第2チャンバー内の圧力を低く設定する工程と、
(C)前記陽極と陰極との間でアーク放電を発生させることでカーボンファイバーを生成する工程と、
(D)前記第1チャンバーと前記第2チャンバーとの圧力差を利用して、前記第1チャンバー内で生成されたカーボンファイバーを、前記第2チャンバー内に位置する前記搬送管の先端から放出させることで、前記基体に衝突させる工程と、
を有することを特徴とするカーボンファイバーが固定された基体の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C01B31/02 101F
, C23C14/06 F
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AB07
, 4G146BA01
, 4G146BA08
, 4G146BA11
, 4G146BC17
, 4K029BA34
, 4K029CA01
Cited by examiner (5)
-
膜形成方法および膜形成装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-201311
Applicant：キヤノン株式会社
-
非蒸発性ゲッタ-及びその製造方法、画像形成装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-006940
Applicant：キヤノン株式会社
-
炭素質材料の製造方法及び製造装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-056330
Applicant：ソニー株式会社
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