無電極放電ランプユニット、無電極放電ランプ装置および流体処理装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小野田芳弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997071487
Publication number (International publication number)：1998269993
Application date： Mar. 25, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】比較的容量の大きい流体処理用にも好適で、しかも取扱いの容易な無電極放電ランプユニット、これを用いた無電極放電ランプ装置および流体処理装置を提供する。【解決手段】細長い放電容器を備えた無電極放電ランプの長手方向に沿って複数の励起コイルを分散して配設するとともに、これらを流体に対してシールされた保護管内に保持し、無電極放電ランプの軸方向の一端側にインピーダンス整合回路を配設し、無電極放電ランプ、励起コイル、保護管およびインピーダンス整合回路を一体化手段によって一体にして無電極放電ランプユニットを構成した。高周波電源は、無電極放電ランプユニットから離間させ、それらの間を同軸ケーブルで接続する。複数の励起コイルによって細長い放電容器の長手方向のほぼ全体を発光させることができる。保護管によって無電極放電ランプおよび励起コイルが流体の影響を受けてインピーダンス整合が乱れて、無電極放電ランプに励起コイルから所定の電力を投入できなくなるようなことがない。

Claim (excerpt)：

細長い放電容器の内部に放電媒体を封入してなる無電極放電ランプと;放電容器の長手方向に沿って分散して配設されて無電極放電ランプに高周波磁界を作用させて放電を生起させる複数の励起コイルと;無電極放電ランプの軸方向の一端側においてほぼ同軸に配設されて各励起コイルに接続されるインピーダンス整合回路と;無電極放電ランプ,励起コイルおよびインピーダンス整合回路を一体化する一体化手段と;を具備していることを特徴とする無電極放電ランプユニット。

IPC (3)：

H01J 65/04 , C02F 1/32 , H05B 41/24

FI (3)：

H01J 65/04 A , C02F 1/32 , H05B 41/24 M

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

誘電体バリヤ放電ランプ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-343206 Applicant：ウシオ電機株式会社
液体処理装置および水処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-178230 Applicant：東芝ライテック株式会社
流体処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-178310 Applicant：東芝ライテック株式会社, 株式会社東芝

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Cited by examiner (5)

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-343206 Applicant：ウシオ電機株式会社
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