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J-GLOBAL ID：200903008030562476
ポジ型感放射線性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996027845
Publication number (International publication number)：1997222732
Application date： Feb. 15, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：
【要約】【課題】 遠紫外線領域の光を用いたハーフミクロンリソグラフィーに対応できる高解像力を有し、しかも露光と露光後ベークとの間の引置き時間に対する安定性が良好な化学増幅型ポジ型感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 構造単位(I)を含む樹脂A、構造単位(II)を含む樹脂B、【化1】(ただし、R1、R2、R3、R7、R8、R9はそれぞれ独立に水素原子、C1以上C4以下のアルキル基を表わし、R4、R5は水素原子、C1以上C10以下のアルキル基を表わし、R6、R10はC1以上C10以下のアルキル基を表わす。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)および放射線により酸を発生する化合物Cを主な成分として含有するポジ型感放射線性組成物において、樹脂Aのポリスチレン換算重量平均分子量をMw1とし、樹脂Bのポリスチレン換算重量平均分子量Mw2とするとき、Mw1>Mw2であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。
Claim (excerpt)：
構造単位(I)を含む樹脂A、構造単位(II)を含む樹脂B、【化1】(ただし、R1、R2、R3、R7、R8、R9はそれぞれ独立に水素原子、C1以上C4以下のアルキル基を表わし、R4、R5は水素原子、C1以上C10以下のアルキル基を表わし、R6、R10はC1以上C10以下のアルキル基を表わす。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)および放射線により酸を発生する化合物Cを主な成分として含有するポジ型感放射線性組成物において、樹脂Aのポリスチレン換算重量平均分子量をMw1とし、樹脂Bのポリスチレン換算重量平均分子量Mw2とするとき、Mw1>Mw2であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。
IPC (2)：
G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
Cited by examiner (3)
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ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-286168
Applicant：東京応化工業株式会社
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感放射線性組成物
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-314061
Applicant：日本合成ゴム株式会社
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ポリマー組成物及びこれを含んで成るレジスト材料
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-354985
Applicant：和光純薬工業株式会社
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