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J-GLOBAL ID：200903059644071758

感放射線性組成物

Inventor：
鈴木 正睦

About 鈴木 正睦

, 
桜井 明彦

About 桜井 明彦

, 
田辺 隆喜

About 田辺 隆喜

, 
勇元 喜次

About 勇元 喜次


Applicant, Patent owner：
日本合成ゴム株式会社

About 日本合成ゴム株式会社


Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995314061
Publication number (International publication number)：1997160244
Application date： Dec. 01, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】 紫外線、遠紫外線、X線あるいは荷電子線の如き各種放射線に有効に感応し且つ解像度、パターン形状、PED安定性等の良好な化学増幅型ポジ型レジストとして有用な、感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)酸により開裂し得るt-ブチル基を持つ置換基を有する化合物、(B)酸により分解し得るアセタール基またはケタール基を持つ置換基を有する化合物 および(C)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。
Claim (excerpt)：
(A)酸により分解し得るt-ブチル基を持つ置換基を有する重合体、(B)酸により分解し得るアセタール基またはケタール基を有する重合体 および(C)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。
IPC (4)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (15)
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