Pat
J-GLOBAL ID:200903008436336418

感光性グリーンシートおよびプラズマディスプレイの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996330951
Publication number (International publication number):1998171106
Application date: Dec. 11, 1996
Publication date: Jun. 26, 1998
Summary:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする感光性ペースト。
Claim (excerpt):
樹脂製のフィルム上に感光性化合物を含む有機成分およびガラス粉末を必須成分とする感光性ペースト層を形成した感光性グリーンシートであって、成分中の有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする感光性グリーンシート。
IPC (3):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 9/02
FI (3):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 9/02 F
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page