走査型プローブ顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：塩野入章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001368534
Publication number (International publication number)：2003166927
Application date： Dec. 03, 2001
Publication date： Jun. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡において、プローブと試料表面との接触を自動回避し、試料表面の三次元形状を自動測定する。【解決手段】プローブが試料表面を走査する間において、プローブの高さを監視することによって、プローブと試料表面との接触を自動的に回避するものであり、プローブの高さ制限値を予め設定しておき、走査によって測定されるプローブのZ方向の高さと高さ制限値とを比較し、プローブの高さが高さ制限値に達したときあるいは超えたときにプローブと試料との間のZ方向の距離を広げ、これによって、プローブと試料表面との接触を回避する。

Claim (excerpt)：

プローブを試料表面に沿って相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、プローブのZ方向高さと予め設定した高さ制限値とを比較し、当該比較結果に基づいてプローブの走査を停止しプローブと試料とのZ方向の距離を広げることを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 13/10 A , G01B 21/30

F-Term (10)：

2F069AA60 , 2F069AA61 , 2F069DD06 , 2F069DD08 , 2F069GG04 , 2F069GG11 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069MM34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

走査型探針顕微鏡及びその制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-175422 Applicant：松下電器産業株式会社
サンプル表面の形状的特徴を調べる装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-108912 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
特開平4-318404

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