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J-GLOBAL ID：200903044450668853

走査プローブ顕微鏡

Inventor：
安武 正敏

About 安武 正敏

, 
本間 昭彦

About 本間 昭彦


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997292918
Publication number (International publication number)：1999133038
Application date： Oct. 24, 1997
Publication date： May. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】 サーボゲインの調整を自動的に行うことができる走査プローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 探針3のZ微動信号は、プリアンプ7を経てバンドパスフィルタ31と誤差アンプ8に入力する。バンドパスフィルタ31はZ微動信号から発振周波数を抽出する。抽出された発振周波数は2乗平均検波回路32で平滑化されディジタル信号に変換されて、D.S.P14に入る。D.S.P14はZサーボ系のゲインをデホルト値から漸増し、前記ディジタル信号の大きさから、Zサーボ系に発振が起きているか否かを判断する。発振が起きたと判断した時には、その時のサーボゲインに基づいて、Zサーボ系のゲインを決定する。また、D.S.P14は誤差アンプ8の出力が閾値を越えた時に、xy走査を一時停止する信号をxy走査回路16に出力する。
Claim (excerpt)：
試料表面の物理量を検知するための探針の動作を制御するZサーボ系を有する走査プローブ顕微鏡において、前記Zサーボ系の発振を検出する発振検出手段と、該発振検出手段の出力に基づいて、前記Zサーボ系のサーボゲインを所定の大きさに自動設定するサーボゲイン自動設定手段とを具備したことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/305
FI (3)：
G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/305 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
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