無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：服部平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997252871
Publication number (International publication number)：1999084646
Application date： Sep. 02, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】露光、焼成時においてパターンの収縮を抑え、再現性の高いパターンを形成できる無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、無機粉末、および有機溶剤を含有する無機粉末含有感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノマーがアルキレンオキサイド基を繰り返し単位として、平均2〜9有する化合物の(メタ)アクリレートであることを特徴とする無機粉末含有感光性樹脂組成物およびパターンの形成方法。

Claim (excerpt)：

高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、無機粉末、および有機溶剤を含有する無機粉末含有感光性樹脂組成物において、前記光重合性モノマーがアルキレンオキサイド基を繰り返し単位として、平均2〜9有する化合物の(メタ)アクリレートであることを特徴とする無機粉末含有感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/48 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , H01J 9/02 , H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/48 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , H01J 9/02 F , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開昭63-265238
感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びプラズマディスプレイの背面板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-218640 Applicant：日立化成工業株式会社
特開平4-116558

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