2個の物品ホルダを有する二次元バランス位置決め装置及びこの位置決め装置を有するリソグラフ装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：杉村暁秀 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998528568
Publication number (International publication number)：2000505958
Application date： Oct. 03, 1997
Publication date： May. 16, 2000
Summary：

【要約】第1物品ホルダ(11、181)を移動させる第1移動ユニット(25、189)と、第2物品ホルダ(13、183)を移動させる第2移動ユニット(27、191)とを有する位置決め装置(3、97、179)である。これ等物品ホルダを位置決め装置によって測定位置から作動位置に交互に移動させることができ、これ等物品ホルダをそれぞれの移動ユニットによって相互に独立して測定位置と作動位置とに移動させることができる。これ等移動ユニットに力アクチュエータを設ける。これ等各力アクチュエータは関連する物品ホルダに連結された第1部分(47、49;117、119;215、217)を有し、この第1部分は2個の移動ユニットに共通なバランスユニット(69、149、205)に固定された第2部分(59、61;133、135、137、139;219、221)に対し、駆動力の作用を受けて移動可能である。バランスユニットはベース(81、209)に対し移動可能に案内され、移動ユニットの反力はベースに対するバランスユニットの移動に変換され、バランスユニット、及びベース内の機械的な振動は防止される。力アクチュエータを使用することによって、バランスユニットの移動がベースに対する物品ホルダの位置を乱すのを防止する。位置決め装置には更に制御ユニット(83、169、237)を設け、物品ホルダに連結されたXアクチュエータ(39、41;105、107;211、213)のX方向に平行に指向する少なくとも第1部分、第2部分のような部分(47、49;121、123;219、221)をこの制御ユニットによってX方向に平行な位置に保持する。このようにして、ベースに対する物品ホルダの位置が移動ユニットの反力によって生ずるバランスユニットの回転によって妨害されることも防止する。リソグラフ装置の露光システムに対し半導体基材を移動させるため、及び露光システムに対しマスクを移動させるためリソグラフ装置内にこの位置決め装置を使用することができる。

Claim (excerpt)：

ベースと、第1移動ユニットと、第2移動ユニットとを具え、前記第1移動ユニットはX方向に平行に、このX方向に垂直なY方向に平行に前記ベースに対し移動し得る第1物品ホルダを有し、前記第2移動ユニットはX方向に平行に、Y方向に平行に前記ベースに対し移動し得る第2物品ホルダを有し、前記第1物品ホルダと第2物品ホルダとは測定位置から作動位置に前記ベースに対し連続的に移動可能であり、前記第1移動ユニット、及び第2移動ユニットはそれぞれ作動中、相互に移動可能で、相互に駆動力を作用させる第1部分、及び第2部分を具え、前記第1移動ユニット、及び第2移動ユニットの前記第1 部分がそれぞれX方向に平行に、Y方向に平行に前記第1物品ホルダ、及び第2物品ホルダに連結されている位置決め装置において、X方向に平行に、Y方向に平行にに設けた前記第1移動ユニット、及び第2移動ユニットの前記第2部分を前記第1移動ユニット、及び第2移動ユニットに共通なバランスユニットに連結し、前記バランスユニットをX方向に平行に、Y方向に平行に前記ベースに対し移動可能に案内すると共に、前記第1移動ユニット、及び第2移動ユニットに駆動力を発生する力アクチュエータをそれぞれ設けたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/30 503 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/68 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-068960 Applicant：キヤノン株式会社
ステップ・アンド・リピート装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-112936 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
特開昭61-045988

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