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J-GLOBAL ID：200903010144143591

試料の欠陥検査システム、および検査方法

Inventor：
水野 文夫

About 水野 文夫


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999304969
Publication number (International publication number)：2001127129
Application date： Oct. 27, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：
【要約】【課題】製品の短期立ち上げ,信頼度試験の適正化,素子初期不良の低減,素子信頼度の向上を実現できる試料の欠陥検査システム、および検査方法を提供する。【解決手段】画像分類部を、差画像形成部の後段に複数の特徴量抽出部,欠陥分類部および学習部を有する構成とした。
Claim (excerpt)：
入力あるいは形成した試料像を、該試料像の特徴量を抽出することによって、予め定められたグループに分類するグループ分類手段と、該分類の結果を出力する出力手段とを備えた試料の欠陥検査システムにおいて、前記特徴量は複数種類であり、前記グループ分類手段は前記複数種類の特徴量を抽出して複数種類のグループ群への分類を行うことを特徴とする試料の欠陥検査システム。
IPC (4)：
H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  G01N 23/225 ,  G06T 7/00
FI (4)：
H01L 21/66 Z ,  G01N 21/88 J ,  G01N 23/225 ,  G06F 15/62 405 A
F-Term (53)：
2G001AA03 ,  2G001AA09 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051AC04 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051EC01 ,  2G051ED11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA10 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ23 ,  5B057AA03 ,  5B057BA01 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC01 ,  5B057DC32 ,  5B057DC40
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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