反射防止材、スタンパ、スタンパの製造方法およびスタンパを用いた反射防止材の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：奥田誠司 , 喜多修市 , 山下亮司 , 三宅章子 , 川口寿志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009102489
Publication number (International publication number)：2009166502
Application date： Apr. 20, 2009
Publication date： Jul. 30, 2009
Summary：

【課題】大面積あるいは特殊な形状のスタンパの製造にも好適に用いられるスタンパの製造方法を提供する。【解決手段】表面に微細な凹凸構造を有するスタンパの製造方法であって、(a)表面に、少なくともアルミニウムを95質量%以上含むアルミニウム層を備える基材を用意する工程と、(b)アルミニウム層を部分的に陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、(c)ポーラスアルミナ層をアルミナのエッチャントに接触させることによって、ポーラスアルミナ層の複数の微細な凹部を拡大させる工程とを包含し、工程(b)および(c)を交互に複数回行うことによって、ポーラスアルミナ層にそれぞれが階段状の側面を有する複数の微細な凹部を形成する。【選択図】図13

Claim (excerpt)：

表面に微細な凹凸構造を有するスタンパの製造方法であって、 (a)表面に、少なくともアルミニウムを95質量%以上含むアルミニウム層を備える基材を用意する工程と、 (b)前記アルミニウム層を部分的に陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、 (c)前記ポーラスアルミナ層をアルミナのエッチャントに接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の微細な凹部を拡大させる工程と、を包含し、前記工程(b)および(c)を交互に複数回行うことによって、前記ポーラスアルミナ層にそれぞれが階段状の側面を有する複数の微細な凹部を形成することを特徴とするスタンパの製造方法。

IPC (3)：

B29C 33/38 , G02B 1/11 , B29C 45/36

FI (3)：

B29C33/38 , G02B1/10 A , B29C45/36

F-Term (14)：

2K009AA01 , 2K009BB01 , 2K009BB11 , 4F202AH73 , 4F202AJ02 , 4F202AJ06 , 4F202AJ09 , 4F202AJ10 , 4F202CA11 , 4F202CA30 , 4F202CB01 , 4F202CD22 , 4F202CK12 , 4F202CQ05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

光学素子および光源装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-104892 Applicant：三洋電機株式会社
反射防止膜及びその製造方法、並びに反射防止膜作製用スタンパ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-392119 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 株式会社モリテックス
反射防止フィルム、偏光素子、および表示装置、ならびに反射防止フィルムの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-074347 Applicant：大日本印刷株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.3, 20050329, 1112頁30p-ZR-9

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