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J-GLOBAL ID:200903061460409963
陽極酸化ポーラスアルミナ複合体及びその製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
伴 俊光
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003004072
Publication number (International publication number):2004217961
Application date: Jan. 10, 2003
Publication date: Aug. 05, 2004
Summary:
【課題】陽極酸化ポーラスアルミナ細孔内に真空蒸着法により他物質を充填するに際し、高アスペクト比の充填構造を簡便に、かつ、安価に達成可能とした、陽極酸化ポーラスアルミナ複合体及びその製造方法を提供する。【解決手段】陽極酸化ポーラスアルミナの細孔内に他物質を充填して複合体を製造する方法において、エッチング処理により少なくとも細孔の開口部を拡径した後、細孔内に真空蒸着により他物質を充填することを特徴とする、陽極酸化ポーラスアルミナ複合体の製造方法、及びその方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナ複合体。【選択図】 図4
Claim (excerpt):
陽極酸化ポーラスアルミナの細孔内に他物質を充填して複合体を製造する方法において、エッチング処理により少なくとも細孔の開口部を拡径した後、細孔内に真空蒸着により他物質を充填することを特徴とする、陽極酸化ポーラスアルミナ複合体の製造方法。
IPC (12):
C25D11/24
, C23C14/14
, C23C14/24
, C25D11/04
, C25D11/12
, C25D11/18
, C25D11/32
, G11B5/64
, G11B5/65
, G11B5/73
, G11B5/84
, G11B5/85
FI (13):
C25D11/24 302
, C23C14/14 A
, C23C14/14 D
, C23C14/24 P
, C25D11/04 B
, C25D11/12 Z
, C25D11/18 Z
, C25D11/32
, G11B5/64
, G11B5/65
, G11B5/73
, G11B5/84 Z
, G11B5/85 A
F-Term (19):
4K029AA07
, 4K029AA29
, 4K029BA06
, 4K029BA12
, 4K029BA35
, 4K029BC06
, 4K029CA01
, 4K029DA01
, 4K029FA02
, 5D006BB01
, 5D006BB07
, 5D006CB04
, 5D112AA02
, 5D112AA05
, 5D112BA06
, 5D112BA09
, 5D112BB01
, 5D112FA02
, 5D112GA29
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
ナノ構造体及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-093129
Applicant:キヤノン株式会社
-
細孔を有する構造体の製造方法及び細孔を有する構造体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-201366
Applicant:キヤノン株式会社
-
薄膜形成装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-255696
Applicant:三菱電機株式会社
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