平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001370626
Publication number (International publication number)：2003170384
Application date： Dec. 04, 2001
Publication date： Jun. 17, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】リスト部に固定されて平板状物を保持するフィンガ部を、目的機器の正面入口面に対し略垂直方向に移動させ得るようにするとともに、過度の回転で胴体内やアーム内にある配線や配管が捩じ切れるのを防止することにある。【解決手段】スカラ型ロボットにおいて、平板状物7を保持したフィンガ部16a,16bを互いに略平行な複数の略直線状径路に沿って移動させ得るように、駆動手段が、リスト部15a,15bとアーム体14とを連結する回動部と、アーム体14を屈伸させる回動部と、アーム体と基部とを連結する回動部とを互いに独立に回動させ得るとともに、それらの回動部のうちの少なくとも一つを一回転以上回動させることができ、その一回転以上回動させることができる回動部の回動を一回転以上の所定回動角度に制限するストッパ21a,21bを具えることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

基部と、前記基部に水平面内で回動可能に一端部が連結されるとともに水平屈伸可能とされた二本ア-ム構成のアーム体と、前記アーム体の他端部に水平面内で回動可能に連結されるとともに平板状物の保持のためのフィンガ部が固定されたリスト部と、前記アーム体およびリスト部のための駆動手段とを具える、平板状物の搬送用スカラ型ロボットにおいて、平板状物を保持した前記フィンガ部を、互いに略平行な複数の略直線状径路に沿って移動させ得るように、前記駆動手段が、前記リスト部と前記アーム体とを連結する回動部と、前記アーム体を屈伸させる回動部と、前記アーム体と前記基部とを連結する回動部とを互いに独立に回動させることができるとともに、それらの回動部のうちの少なくとも一つを一回転以上回動させることができ、前記一回転以上回動させることができる回動部の回動を一回転以上の所定回動角度に制限するストッパを具えることを特徴とする、スカラ型ロボット。

IPC (5)：

B25J 19/00 , B25J 9/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (5)：

B25J 19/00 C , B25J 9/06 D , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 D , H01L 21/68 A

F-Term (35)：

3C007AS03 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007CT04 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007CX01 , 3C007CX03 , 3C007CX09 , 3C007CY09 , 3C007CY36 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007HT20 , 3C007KV01 , 3C007KV12 , 3C007NS12 , 3C007NS13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA20 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA05 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031GA03 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031LA13 , 5F031MA04 , 5F031MA06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

ウエハ搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-303923 Applicant：ローツェ株式会社
ロボット手首用ロータリジョイント装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-125525 Applicant：株式会社ダイヘン
特開平4-110711

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