容量式湿度センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢作和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003075017
Publication number (International publication number)：2004279370
Application date： Mar. 19, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：

【課題】簡便にオフセット電圧を低減でき、センサの体格を小型化可能な容量式湿度センサを提供すること。【解決手段】半導体基板12上に、検出電極21,22と感湿膜23からなる検出部20と、参照電極31,32と容量調整膜としての透湿膜33からなる参照容量部30とを備え、検出電極21,22間と参照電極31,32間の容量差(Cs-Cr)をC-V変換回路50を介して電圧信号に変換し湿度を検出する容量式湿度センサ10において、参照電極31,32の電極パターンを検出電極21,22と略同一とし、参照電極31,32上に湿度が基準状態(例えば湿度0%RH)である場合の感湿膜23の誘電率と略等しい誘電率を有する透湿膜33を設けた。透湿膜33を設けるだけでオフセット電圧を低減でき、それによりオフセット補正回路等を要しないので、センサ10の体格を小型化できる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

半導体基板と、当該半導体基板上に対向配置された一対の検出電極と、前記一対の検出電極上に形成され、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜とを備える検出部と、前記半導体基板上に対向配置された一対の参照電極からなる参照容量部とを備え、前記検出電極間の容量値と前記参照電極間の容量値との容量差を電圧信号に変換して湿度を検出する容量式湿度センサであって、前記参照容量部は、前記湿度が基準状態である場合の前記容量差を低減するための容量調整膜を前記参照電極上に備えることを特徴とする容量式湿度センサ。

IPC (1)：

G01N27/22

FI (1)：

G01N27/22 A

F-Term (8)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060BB10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-134588 Applicant：株式会社東芝
容量式湿度センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-039001 Applicant：株式会社デンソー
ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-278103 Applicant：エルジー電子株式会社

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Cited by examiner (4)

半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-134588 Applicant：株式会社東芝
容量式湿度センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-039001 Applicant：株式会社デンソー
ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-278103 Applicant：エルジー電子株式会社

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