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J-GLOBAL ID：200903011460839723

収差補正方法および電子線装置

Inventor： 細 川 史 生
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006234924
Publication number (International publication number)：2008059881
Application date： Aug. 31, 2006
Publication date： Mar. 13, 2008
Summary：

【課題】 2回対称3次収差S3を補正すること。【解決手段】 Cs補正装置17を動作させると、寄生収差S3(2回対称3次収差S3)が発生する。そこで図1の装置においては、その寄生収差S3を打ち消す2回対称3次収差S3を多極子7内で新たに発生させることにより、寄生収差S3を補正するようにしている。すなわち、6極場を発生している多極子7内で電子線EBを光軸Oに対して傾斜させることにより、その傾斜された電子線EBを構成する各電子に対して、新たな2回対称3次収差S3を導入している。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

第1の多極子と第2の多極子の間に伝達レンズを配置した球面収差補正装置を備えた電子線装置において、 2回対称3次収差(S3)が補正されるように、第1の多極子内または第2の多極子内で電子線の中心軌道を光軸に対して傾斜させるようにしたことを特徴とする収差補正方法。

IPC (1)：

H01J 37/153

FI (1)：

H01J37/153 A

F-Term (2)：

5C033HH05 ,  5C033HH08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 電子顕微鏡の球面収差補正装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-200768   Applicant：日本電子株式会社

Cited by examiner (2)

• 電子光学系の三次球面収差の補正時に一次、二次および三次光軸の像の変形を除去する方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-511180   Applicant：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー
• 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における収差補正器の軸合わせ方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-026291   Applicant：日本電子株式会社