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J-GLOBAL ID：200903092953326130

荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における収差補正器の軸合わせ方法

Inventor：
数 森 啓 悦

About 数 森 啓 悦


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005026291
Publication number (International publication number)：2006216299
Application date： Feb. 02, 2005
Publication date： Aug. 17, 2006
Summary：
【課題】 荷電ビーム粒子装置の光学系内部に配置されている収差補正装置の軸合わせを、短時間で簡易に行うことを可能にする。【解決手段】 収差補正装置Cの前方に荷電粒子線の偏向器Dを設け、収差補正装置Cの一段目の多極子に対する荷電粒子線の入射方向を変えることを可能とする。偏向器Dを設けたことにより、加速電圧を変更したり、照射電流を変えるために集束レンズの励磁を変更しても対物レンズ絞り33の位置を再調整する必要が無いので、収差補正装置Cの軸ずれ補正をやり直す必要が無くなる。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
多極子が多段で構成されている構造の収差補正装置を集束レンズと対物レンズの間に配置することにより、色収差、球面収差を補正する荷電粒子線装置であって、前記集束レンズと前記収差補正装置との間に配置された対物レンズ絞りと前記収差補正装置との間に偏向器を備え、前記偏向器の制御電圧を調整することにより、前記収差補正装置の一段目の多極子に入射する荷電粒子線の入射角度を変えて前記収差補正装置に対する軸ずれ補正を行う、ことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (4)：
H01J 37/153 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28
FI (6)：
H01J37/153 A ,  H01J37/153 B ,  H01J37/147 A ,  H01J37/147 B ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B
F-Term (4)：
5C033EE04 ,  5C033HH05 ,  5C033HH06 ,  5C033UU05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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