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J-GLOBAL ID：200903011677053051

半導体装置及びその製造方法

Inventor：
柴山 勝己

About 柴山 勝己


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (3)： 長谷川 芳樹 ,  塩田 辰也 ,  寺崎 史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003098548
Publication number (International publication number)：2004165602
Application date： Apr. 01, 2003
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：
【課題】半導体基板と、ホトダイオードの出力を半導体基板の一方の主面側から他方の主面側に導く導電性部材との間の電気絶縁性を確保することが可能な半導体装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】n型半導体基板105には、隣接するp型不純物拡散領域109間に、一方の主面側から他方の主面側に貫通する貫通孔105cが形成されている。貫通孔105cは、p型不純物拡散領域109それぞれに対応して設けられている。貫通孔105cを画成するn型半導体基板105の壁面上には、熱酸化膜113が形成されている。貫通孔105c内には、熱酸化膜113の内側に導電性部材としての貫通配線115が設けられている。貫通配線115の一端側の部分は、電極配線117の一端側の部分に電気的に接続されている。電極配線117は、熱酸化膜107上に形成されており、その他端側の部分がp型不純物拡散領域109に電気的に接続されている。【選択図】 図17
Claim (excerpt)：
一方の主面側にホトダイオードが形成された半導体基板を備えた半導体装置であって、 前記半導体基板には、前記一方の主面側から他方の主面側に貫通する貫通孔が形成されており、 前記貫通孔に設けられ、前記ホトダイオードの出力を前記半導体基板の前記一方の主面側から前記他方の主面側に導く導電性部材と、 前記貫通孔を画成する前記半導体基板の壁面上に形成され、前記半導体基板と前記導電性部材との間に配置される熱酸化膜と、を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (3)：
H01L27/14 ,  H01L21/3205 ,  H01L31/10
FI (3)：
H01L27/14 D ,  H01L21/88 J ,  H01L31/10 A
F-Term (75)：
4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118BA01 ,  4M118BA03 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118EA20 ,  4M118HA31 ,  4M118HA33 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK01 ,  5F033LL04 ,  5F033MM30 ,  5F033PP09 ,  5F033PP15 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ04 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ41 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR23 ,  5F033SS11 ,  5F033SS13 ,  5F033SS15 ,  5F033SS25 ,  5F033SS27 ,  5F033TT02 ,  5F033VV07 ,  5F033XX20 ,  5F033XX31 ,  5F049MA02 ,  5F049MB02 ,  5F049NA03 ,  5F049NA04 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049PA05 ,  5F049PA14 ,  5F049PA15 ,  5F049PA20 ,  5F049QA03 ,  5F049QA14 ,  5F049QA20 ,  5F049RA02 ,  5F049SE05 ,  5F049SE09 ,  5F049SE11 ,  5F049SS02 ,  5F049SZ13 ,  5F049TA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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