Pat
J-GLOBAL ID：200903086212120437

光素子及びその製造方法並びに電子機器

Inventor：
和田 健嗣

About 和田 健嗣


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 井上 一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001165017
Publication number (International publication number)：2002094082
Application date： May. 31, 2001
Publication date： Mar. 29, 2002
Summary：
【要約】【課題】 装置の小型化を図るとともに両面の電気的導通を確保することができる光素子及びその製造方法並びに電子機器を提供することにある。【解決手段】 光素子の製造方法は、光学部13と、光学部13と電気的に接続された電極2と、を備えた半導体素子3に貫通穴4を形成することと、貫通穴4の内壁面を含み、半導体素子3の光学部13が形成された側の第1の面Bから、この第1の面Bに対向する第2の面Aに亘る導電層8を形成することと、を有する。
Claim (excerpt)：
光学部と、前記光学部と電気的に接続された電極と、を備えた半導体素子に貫通穴を形成することと、前記貫通穴の内壁面を含み、前記半導体素子の前記光学部が形成された側の第1の面から、前記第1の面に対向する第2の面に亘る導電層を形成することと、を有する光素子の製造方法。
IPC (5)：
H01L 31/02 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 23/12 501 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (5)：
H01L 23/12 501 P ,  H04N 5/335 U ,  H01L 31/02 B ,  H01L 27/14 D ,  H01L 21/88 J
F-Term (58)：
4M118AA09 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118CA32 ,  4M118EA01 ,  4M118EA05 ,  4M118GC07 ,  4M118GD07 ,  4M118HA02 ,  4M118HA24 ,  4M118HA29 ,  4M118HA31 ,  5C024BX01 ,  5C024BX06 ,  5C024BX07 ,  5C024CY47 ,  5C024EX25 ,  5C024GX02 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH13 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ13 ,  5F033KK07 ,  5F033KK11 ,  5F033KK12 ,  5F033KK13 ,  5F033MM30 ,  5F033PP15 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ53 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR22 ,  5F033SS11 ,  5F033VV07 ,  5F033XX00 ,  5F088BA15 ,  5F088BA16 ,  5F088BB03 ,  5F088DA20 ,  5F088EA16 ,  5F088FA09 ,  5F088FA11 ,  5F088HA05 ,  5F088JA09 ,  5F088JA12 ,  5F088JA13 ,  5F088JA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (17)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM