電子線分析装置及び電子線分析方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996325059
Publication number (International publication number)：1998172492
Application date： Dec. 05, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】分析位置ずれのない正確な元素分析を行うことができる電子線分析装置を提供する。【解決手段】検出効率が高い二次電子あるいは透過電子等の位置検出手段により試料変位量を計測して特性X線あるいはオージェ電子による分析を行う位置を補正する。

Claim (excerpt)：

電子線を試料に照射し、試料から発生する特性X線あるいはオージェ電子を検出して試料の元素組成を分析する電子線分析装置において、特性X線あるいはオージェ電子より検出効率が高い位置検出手段により試料変位量を計測して分析位置を補正することを特徴とする電子線分析装置。

IPC (5)：

H01J 37/252 , H01J 37/20 , H01J 37/28 , G01N 23/225 , G01N 23/227

FI (6)：

H01J 37/252 A , H01J 37/252 Z , H01J 37/20 Z , H01J 37/28 Z , G01N 23/225 , G01N 23/227

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平2-065045
特開平1-102839
特開平3-291842

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