光プローブおよび光プローブ製造方法および走査型プローブ顕微鏡

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998051167
Publication number (International publication number)：1999006838
Application date： Mar. 03, 1998
Publication date： Jan. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】光近接場効果を利用した光プロ-ブで、微小開口におけるエバネッセント場の強度が、入射光の強度に対して大きく減衰してしまう。【解決手段】微小開口を有する光プロ-ブを光共振器もしくはその一部とすることにより光プロ-ブ内の光強度を増強して、微小開口部に形成されるエバネッセント場の強度を増強する光プロ-ブを提供する。

Claim (excerpt)：

固体表面における形状観察および物性測定を行うための近接場効果顕微鏡に使用される光プローブにおいて、前記光プローブは端部に光透過孔を有する光ファイバーからなり、光ファイバー自体が光共振器として構成されていることを特徴とする光プローブ。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 11/30

FI (2)：

G01N 37/00 E , G01B 11/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (17)

レーザ光源を備えた近視野光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-234576 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
特開平3-278014
走査型近接場顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-095911 Applicant：株式会社ニコン

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