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J-GLOBAL ID:200903012597989338

高熱伝導窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999163220
Publication number (International publication number):2000351673
Application date: Jun. 10, 1999
Publication date: Dec. 19, 2000
Summary:
【要約】【課題】 窒素雰囲気下の高温・高圧での焼成を必要とせず、高い熱伝導率と強度を有する高熱伝導窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化ケイ素を主成分とし、マグネシウム(Mg)を酸化マグネシウム(MgO)換算して、周期律表第3a族元素(RE)を酸化物(RExOy)換算して、その合計量が0.5〜5.0体積%、MgO/RExOyで表される体積比が1〜50の割合で含有し、常温おける熱伝導率が70W/(m・K)以上、常温における4点曲げ強度が600MPa以上であることを特徴とする。
Claim (excerpt):
窒化ケイ素を主成分とし、マグネシウム(Mg)を酸化マグネシウム(MgO)換算して、周期律表第3a族元素(RE)を酸化物(RExOy)換算して、その合計量が0.5〜5.0体積%、MgO/RExOyで表される体積比が1〜50の割合で含有し、常温における熱伝導率が70W/(m・K)以上、常温における4点曲げ強度が600MPa以上であることを特徴とする高熱伝導窒化ケイ素質焼結体。
IPC (4):
C04B 35/584 ,  H01L 23/15 ,  H01L 23/373 ,  H05K 1/03 610
FI (5):
C04B 35/58 102 C ,  H05K 1/03 610 D ,  C04B 35/58 102 D ,  H01L 23/14 C ,  H01L 23/36 M
F-Term (27):
4G001BA03 ,  4G001BA06 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA10 ,  4G001BA11 ,  4G001BA32 ,  4G001BB03 ,  4G001BB06 ,  4G001BB08 ,  4G001BB09 ,  4G001BB10 ,  4G001BB11 ,  4G001BB32 ,  4G001BC12 ,  4G001BC13 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC57 ,  4G001BD03 ,  4G001BD14 ,  4G001BE03 ,  4G001BE22 ,  4G001BE23 ,  5F036AA01 ,  5F036BB01 ,  5F036BD14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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