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J-GLOBAL ID：200903013125879276

レーザ超音波検査装置

Inventor：
落合 誠

About 落合 誠

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黒田 英彦

About 黒田 英彦

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三浦 崇広

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空本 誠喜

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成瀬 克彦

About 成瀬 克彦


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (1)： 波多野 久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001055948
Publication number (International publication number)：2002257793
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】水中環境下あるいは粉塵環境下などの検査環境下において超音波を送受信する光路を清浄に確保し、高感度に検査する。【解決手段】第1のレーザ光PLと第2のレーザ光ILの被検査材3表面に至る光路の少なくとも一方を、第1のレーザ光源1の波長および第2のレーザ光源4の波長が透過し易い流体で置換する置換手段18,19,20を有する。
Claim (excerpt)：
被検査材に超音波を発生させるための第1のレーザ光を発振する第1のレーザ光源と、前記被検査材に発生した超音波信号を受信するために前記被検査材に照射される第2のレーザ光を発振する第2のレーザ光源と、前記第2のレーザ光の前記被検査材表面における反射成分から前記超音波に関する情報を光学的に検知するための受信用光学系と、この受信用光学系において受信された超音波信号を電気信号に変換する信号変換手段と、この信号変換手段の出力信号を信号処理し、超音波の伝播に関する情報を表示および記録する信号処理装置とを備えたレーザ超音波検査装置において、前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光の前記被検査材表面に至る光路の少なくとも一方を、前記第1のレーザ光源の波長および前記第2のレーザ光源の波長が透過し易い流体で置換する置換手段を有することを特徴とするレーザ超音波検査装置。
IPC (3)：
G01N 29/00 501 ,  G01N 29/10 507 ,  G21C 17/003
FI (3)：
G01N 29/00 501 ,  G01N 29/10 507 ,  G21C 17/00 F
F-Term (10)：
2G047AC01 ,  2G047BC07 ,  2G047CA04 ,  2G047GH06 ,  2G075CA07 ,  2G075DA16 ,  2G075FA01 ,  2G075FA17 ,  2G075FC14 ,  2G075GA21
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (22)
  • 透明薄膜の厚さ及び音速の同時測定法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-146533   Applicant：新日本製鐵株式会社
  • 特開昭58-140637
  • レーザ加工装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-028008   Applicant：株式会社東芝, 東芝エンジニアリング株式会社
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