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J-GLOBAL ID：200903099873182174

測定光路の気体パージ方法及びこれに用いる気体パージ装置

Inventor：
伊勢居 良仁

About 伊勢居 良仁

, 
本田 達朗

About 本田 達朗


Applicant, Patent owner：
住友金属工業株式会社

About 住友金属工業株式会社


Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999114114
Publication number (International publication number)：2000304687
Application date： Apr. 21, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 導光管を用いることなく、劣悪な周辺環境の下においても良好な測定光路を確保することができ、高精度に測定することができるようにする。【解決手段】 気体の噴出によって測定光路の周りにパージ気体域3を生じさせるための気体パージノズル2を、そのノズル出口20での気体流速を測定対象面に亘って確保することができる位置に配置し、気体パージノズル2及び測定対象面の間にパージ気体域3を生じさせるようにした。
Claim (excerpt)：
光学式計測器の測定対象面側に気体パージノズルを配置し、該気体パージノズルが気体を噴出することによって測定光路の周りにパージ気体域を生じさせる気体パージ方法において、前記気体パージノズルを、そのノズル出口での気体流速を測定対象面に亘って確保することができる位置に配置して、該気体パージノズル及び前記測定対象面の間にパージ気体域を生じさせることを特徴とする測定光路の気体パージ方法。
IPC (3)：
G01N 21/15 ,  G01J 1/04 ,  G01J 5/06
FI (3)：
G01N 21/15 ,  G01J 1/04 E ,  G01J 5/06
F-Term (10)：
2G057AB04 ,  2G057AB09 ,  2G057JA03 ,  2G065AB09 ,  2G065AB22 ,  2G065CA11 ,  2G065DA15 ,  2G066AC11 ,  2G066BB05 ,  2G066CA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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