Pat
J-GLOBAL ID:200903013740087347
LiCoO2の堆積
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
平木 祐輔
, 石井 貞次
, 藤田 節
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007545692
Publication number (International publication number):2008523567
Application date: Dec. 07, 2005
Publication date: Jul. 03, 2008
Summary:
本発明によれば、パルスdc物理気相堆積プロセスによるLiCoO2層の堆積が提供される。そのような堆積により、所望の<101>配向または<003>配向を有するLiCoO2の結晶性層の低温高堆積速度堆積を提供することが可能である。堆積のいくつかの実施形態は、固体再充電可能Li電池のカソード層として利用しうるLiCoO2膜の高速度堆積の必要性に対処するものである。本発明に係るプロセスの実施形態によれば、LiCoO2層を結晶化させるために慣例的に必要とされる高温(>700°C)アニール工程を省略することが可能である。本プロセスのいくつかの実施形態によれば、短時間のランプ速度の急速熱アニールプロセスを利用することにより、LiCoO2層を利用する電池を改良することが可能である。
Claim (excerpt):
反応器内に基板を配置することと、
アルゴンおよび酸素を含むガス状混合物を該反応器内に通して流動させることと、
該基板に対向するように位置決めされたLiCoO2で形成されたターゲットにパルスDC電力を印加することと、
を含むLiCoO2層の堆積方法であって、
LiCoO2の結晶性層が該基板上に堆積される、上記方法。
IPC (5):
H01M 4/04
, H01M 4/66
, H01M 10/36
, H01M 4/02
, C23C 14/06
FI (7):
H01M4/02 109
, H01M4/66 A
, H01M10/00 107
, H01M10/00 117
, H01M10/00 102
, H01M4/02 102
, C23C14/06 N
F-Term (70):
4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029AA06
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029BA01
, 4K029BA41
, 4K029BA43
, 4K029BA46
, 4K029BB02
, 4K029BB03
, 4K029BB07
, 4K029BD00
, 4K029CA06
, 4K029CA13
, 4K029DC05
, 4K029DC34
, 4K029EA02
, 4K029FA06
, 4K029GA01
, 4K029HA01
, 4K029JA06
, 5H017AA03
, 5H017BB17
, 5H017CC01
, 5H017EE01
, 5H017EE04
, 5H017EE05
, 5H029AJ01
, 5H029AJ14
, 5H029AK03
, 5H029AL11
, 5H029AL12
, 5H029AM12
, 5H029BJ04
, 5H029CJ02
, 5H029CJ24
, 5H029CJ28
, 5H029CJ30
, 5H029DJ16
, 5H029DJ17
, 5H029EJ01
, 5H029EJ05
, 5H029EJ06
, 5H029EJ12
, 5H029HJ04
, 5H029HJ05
, 5H029HJ14
, 5H029HJ20
, 5H050AA01
, 5H050AA19
, 5H050BA16
, 5H050CA08
, 5H050CB11
, 5H050CB12
, 5H050DA04
, 5H050DA06
, 5H050DA07
, 5H050FA03
, 5H050FA17
, 5H050FA19
, 5H050GA02
, 5H050GA24
, 5H050GA27
, 5H050HA04
, 5H050HA05
, 5H050HA14
, 5H050HA17
, 5H050HA20
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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リチウム二次電池用電極の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-030773
Applicant:三洋電機株式会社
-
特許第6632563号
-
正極の製造方法および電池の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-126995
Applicant:ソニー株式会社
-
非水電解質二次電池
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-401936
Applicant:株式会社東芝
-
薄膜作成法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-261286
Applicant:キヤノン株式会社
-
特開昭62-266732
-
DCスパッタリング装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-252075
Applicant:日本真空技術株式会社
-
スパッタリング方法と装置および薄膜の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-175674
Applicant:旭硝子株式会社
-
固体リチウム二次電池およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-330661
Applicant:松下電器産業株式会社
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Cited by examiner (10)
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リチウム二次電池用電極の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-030773
Applicant:三洋電機株式会社
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薄膜作成法
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Application number:特願2001-261286
Applicant:キヤノン株式会社
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特許第6632563号
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非水電解質二次電池
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Application number:特願2000-401936
Applicant:株式会社東芝
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特許第6632563号
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Application number:特願2003-126995
Applicant:ソニー株式会社
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特開昭62-266732
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Application number:特願平7-252075
Applicant:日本真空技術株式会社
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Application number:特願平6-175674
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Application number:特願2001-330661
Applicant:松下電器産業株式会社
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Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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