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J-GLOBAL ID:200903014594096130

分光特性測定装置および同装置の分光感度の波長シフト補正方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小谷 悦司 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002142015
Publication number (International publication number):2003090761
Application date: May. 16, 2002
Publication date: Mar. 28, 2003
Summary:
【要約】【課題】 白色校正以上の手間がかからず、ユーザが実際に使用する環境で日常的に波長方向のシフト補正を行えるようにする。【解決手段】 ランプ12からの光を受光したときに試料光センサアレイ36から出力される分光プロファイルと、センサアレイ36の回折格子35に対する相対位置が波長分散方向に所定ピッチで複数段階シフトした場合に、各シフト位置においてセンサアレイ36から出力されるべき複数の分光プロファイルとが格納されたメモリ61と、試料2として校正用白色板が配置された状態でランプ12を発光させ、そのときにセンサアレイ36から出力される補正用分光プロファイルとメモリ61に格納されている上記各分光プロファイルとをそれぞれ比較し、補正用分光プロファイルに最も近似する分光プロファイルに対応するシフト量を波長シフト補正量として求めるCPU62とを備える。
Claim (excerpt):
測定試料を照明する照明手段と、この照明手段を発光させる照明制御手段と、照明された上記測定試料からの光を波長ごとに分光する分光手段と、上記分光手段の波長分散方向に所定間隔で配列され、それぞれ異なる波長の光を受光して光強度に応じた受光信号を出力する複数の光電変換素子を有し、当該複数の受光信号からなる分光プロファイルを出力する受光手段と、上記各光電変換素子の分光感度が格納された分光感度記憶手段と、上記分光プロファイルと上記各光電変換素子の分光感度とを用いて所定の測定波長域における上記測定試料の分光特性を算出する分光特性演算手段とを備えた分光特性測定装置において、初期状態で特定波長に強度のピークを持つ所定光源からの光を受光したときに上記受光手段から出力される少なくとも上記特定波長を含む特定波長域の分光プロファイルと、上記受光手段の上記分光手段に対する相対位置が波長分散方向に所定ピッチで複数段階シフトした場合に、各シフト位置において当該受光手段から出力されるべき上記特定波長域の複数の分光プロファイルとからなる基準分光プロファイル群が格納された基準分光プロファイル群記憶手段と、上記初期状態以後に上記所定光源を校正可能な状態で発光させる補正制御手段と、上記所定光源が発光したときに上記受光手段から出力される補正用分光プロファイルと上記基準分光プロファイル群記憶手段に格納されている上記各分光プロファイルとを上記特定波長域においてそれぞれ比較し、上記補正用分光プロファイルに最も近似する上記基準分光プロファイル群記憶手段に格納されている分光プロファイルに対応するシフト量を上記初期状態からのシフト量である波長シフト補正量として求める補正量演算手段とを備えたことを特徴とする分光特性測定装置。
F-Term (18):
2G020AA04 ,  2G020AA08 ,  2G020CA03 ,  2G020CB05 ,  2G020CB32 ,  2G020CB43 ,  2G020CC02 ,  2G020CD31 ,  2G020CD34 ,  2G020CD36 ,  2G020CD37 ,  2G020CD38 ,  2G020CD39 ,  2G020CD53 ,  2G020DA12 ,  2G020DA22 ,  2G020DA31 ,  2G020DA34
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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