マルチチャンネルQCMセンサデバイス

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：志賀富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999089410
Publication number (International publication number)：2000283905
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】水晶基板の表面に複数の電極を隣接させかつ各電極の裏面に対向電極を形成したマルチチャンネルQCMセンサデバイスでは、試料に晒される電極形成部に凹凸部が多くなり、その面を次回の計測のために完全に洗浄するのが難しい。【解決手段】水晶基板20は、試料に晒される電極21A〜21Dが形成される面を平坦構造とし、この面の洗浄を確実、容易にする。電極21A〜21Dまたはその裏面電極の一方を1つの共通電極にしたこと、試料に晒される面を縁部を残して掘り下げた平坦面にし、この掘り下げ部を試料溜めとすることも含む。

Claim (excerpt)：

水晶基板の表面に複数の電極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化またはインピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知・定量するマルチチャンネルQCMセンサデバイスにおいて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面を平坦構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を掘り下げた凹部をもつ構造としたことを特徴とするマルチチャンネルQCMセンサデバイス。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

塩基配列読み取り装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-029497 Applicant：テルモ株式会社
QCMセンサデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-056745 Applicant：北斗電工株式会社, 株式会社明電舎
特開平2-118434

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

マルチチャンネルQCMの開発(1)

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