硬質炭素系被膜

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：目次誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997259832
Publication number (International publication number)：1999100671
Application date： Sep. 25, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】膜硬度が高く、かつ基板からの剥離や基板の反りの原因となる内部応力が低減した硬質炭素系被膜を得る。【解決手段】水素を含有する非晶質炭素からなる硬質炭素層2を少なくとも2層有し、該硬質炭素層2の間に内部応力緩和層1を配置した積層構造を有することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

水素を含有する非晶質炭素からなる硬質炭素層を少なくとも2層有し、該硬質炭素層の間に内部応力緩和層を配置した積層構造を有する硬質炭素系被膜。

IPC (3)：

C23C 16/26 , C01B 31/02 101 , C23C 14/06

FI (3)：

C23C 16/26 , C01B 31/02 101 Z , C23C 14/06 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

硬質炭素積層膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-254813 Applicant：住友電気工業株式会社
超硬基材上の硬質カ-ボン膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-197112 Applicant：シチズン時計株式会社
特開平4-304374

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