機能水の回収方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：内山充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002155711
Publication number (International publication number)：2003340458
Application date： May. 29, 2002
Publication date： Dec. 02, 2003
Summary：

【要約】【課題】使用ずみ又は未使用の機能水を良好な水質を有する状態で回収し、機能水の原料水として再利用することができる機能水の回収方法を提供する。【解決手段】使用された又は使用されなかった機能水を回収して再利用する方法において、該機能水をイオン除去手段で処理したのち、機能水の製造工程に供給することを特徴とする機能水の回収方法。

Claim (excerpt)：

使用された又は使用されなかった機能水を回収して再利用する方法において、該機能水をイオン除去手段で処理したのち、機能水の製造工程に供給することを特徴とする機能水の回収方法。

IPC (5)：

C02F 1/469 , B01D 61/44 500 , B01D 61/44 520 , C02F 1/42 , C02F 1/44 ZAB

FI (5)：

B01D 61/44 500 , B01D 61/44 520 , C02F 1/42 A , C02F 1/44 ZAB H , C02F 1/46 103

F-Term (56)：

4D006GA03 , 4D006GA17 , 4D006GA32 , 4D006GA35 , 4D006HA01 , 4D006HA21 , 4D006HA41 , 4D006HA61 , 4D006JA71 , 4D006KA02 , 4D006KA51 , 4D006KA72 , 4D006KB11 , 4D006KB14 , 4D006KB17 , 4D006KB30 , 4D006KD13 , 4D006KD17 , 4D006KD21 , 4D006KD22 , 4D006KD26 , 4D006MA01 , 4D006MA02 , 4D006MA03 , 4D006MA04 , 4D006MB03 , 4D006PA01 , 4D006PB02 , 4D006PB08 , 4D006PC01 , 4D025AA01 , 4D025AA08 , 4D025AB09 , 4D025AB16 , 4D025BA08 , 4D025BA09 , 4D025BA13 , 4D025BA14 , 4D025BB02 , 4D025BB03 , 4D025BB04 , 4D025BB07 , 4D025BB08 , 4D025BB09 , 4D025DA01 , 4D025DA05 , 4D025DA10 , 4D061DA01 , 4D061DA08 , 4D061DB13 , 4D061EA09 , 4D061EB13 , 4D061FA03 , 4D061FA08 , 4D061FA09 , 4D061FA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

超純水製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-022595 Applicant：オルガノ株式会社
排水回収装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-098434 Applicant：富士通株式会社, 株式会社富士通東北エレクトロニクス
半導体基板のウエット処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-056109 Applicant：日本電気株式会社

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