微細構造体及びその製造方法、センサデバイス及びラマン分光用デバイス

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：柳田征史 , 佐久間剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006198009
Publication number (International publication number)：2008026109
Application date： Jul. 20, 2006
Publication date： Feb. 07, 2008
Summary：

【課題】表面に凹凸構造を有する凹凸金属基板上に、複数の金属粒子が凹凸金属基板の凹部内に固着して配列した微細構造体を簡易に製造する。【解決手段】金属基板として、表面に凹凸構造を有する凹凸金属基板11を用意する工程(A)と、凹凸金属基板11の表面上に、凹凸金属基板11の構成金属と異なる金属を主成分とする金属膜21を成膜する工程(B)と、アニール処理により、金属膜21の構成金属を凝集させて粒子化させる工程(C)とを順次実施することにより、微細構造体1を製造する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

金属基板上に複数の金属粒子が配列した微細構造体の製造方法において、前記金属基板として、表面に凹凸構造を有する凹凸金属基板を用意する工程(A)と、前記凹凸金属基板の前記表面上に、該凹凸金属基板の構成金属と異なる金属を主成分とする金属膜を成膜する工程(B)と、アニール処理により、該金属膜の構成金属を凝集させて粒子化させる工程(C)とを順次実施することを特徴とする微細構造体の製造方法。

IPC (3)：

G01N 21/65 , B82B 3/00 , B82B 1/00

FI (3)：

G01N21/65 , B82B3/00 , B82B1/00

F-Term (6)：

2G043BA14 , 2G043CA03 , 2G043EA03 , 2G043HA15 , 2G043KA02 , 2G043KA09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

ラマン散乱測定センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-338921 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー
特願2005-035564号公報
金属微粒子の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-005684 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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