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J-GLOBAL ID:200903016825076980
高速画像同期測定方法及びその装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
清水 守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001091933
Publication number (International publication number):2002286631
Application date: Mar. 28, 2001
Publication date: Oct. 03, 2002
Summary:
【要約】【課題】 ヘテロダイン検出を用いた信号光波強度画像を求める場合に、位相条件の異なる4、3枚の画像に代えて、2枚の画像から求め、干渉画像を高速に同期検出する高速画像同期測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】 強度変調照射光源1と、干渉結像光学系3と、スタータートリガー2と、位相変調器4と、カメラ5と、カメラコントローラー6と、コンピュータ7とを備え、前記強度変調照射光源1とスタータートリガー2と位相変調器4とカメラコントローラー6とはコンピュータ7によって制御可能にし、参照光波と信号光波との位相差を0度,90度と変化させたヘテロダインビート信号からなる2枚の干渉画像内のデータから信号光波強度分布を求める。
Claim (excerpt):
ヘテロダインビート信号からなる干渉画像を、参照光波と信号光波との位相差を0度,90度と変化させた2枚の干渉画像として、該2枚の干渉画像内のデータから信号光波強度分布を求めることを特徴とする高速画像同期測定方法。
IPC (2):
G01N 21/17 630
, A61B 10/00
FI (2):
G01N 21/17 630
, A61B 10/00 E
F-Term (12):
2G059AA05
, 2G059AA06
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059FF08
, 2G059GG00
, 2G059GG06
, 2G059KK04
, 2G059MM03
, 2G059PP04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
光計測装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-239883
Applicant:科学技術振興事業団
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部品実装検査方法及びその検査装置並びに該検査装置により検査された基板
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-100979
Applicant:キヤノン株式会社
-
安定化干渉計測装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-194909
Applicant:芳野俊彦
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