感光性組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994015963
Publication number (International publication number)：1995209867
Application date： Jan. 14, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】エキシマレーザリソグラフィー用の感光性組成物を提供することによって半導体装置の微細化を促進する。【構成】ポリビニルアルコールまたはその誘導体であるビニルアセタールの少なくとも一部の水酸基を DL-チオクトカルボニル基, 1,3ジチオラン -2-カルボニル基または 1,3ジチアン -2-カルボニル基で保護してなる樹脂と、光酸発生剤とで感光性組成物を構成する。これによって、短波長領域の露光光に対する透明性と、塩素ガスを用いたドライエッチング耐性と有する感光性組成物を得る。

Claim (excerpt)：

ポリビニルアルコールまたはその誘導体の少なくとも一部の水酸基を硫黄を含む酸脱離性保護基で保護してなる樹脂と、光酸発生剤とからなることを特徴とする感光性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 , C08L 29/14 LHA , G03F 7/021 511 , G03F 7/029 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平2-278265
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-036985 Applicant：日本合成ゴム株式会社
特開平2-025850

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