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J-GLOBAL ID：200903017239799677

露光装置及び露光システム並びにデバイス製造方法

Inventor： 堀川 浩人 ,  高橋 正人
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005305451
Publication number (International publication number)：2007115879
Application date： Oct. 20, 2005
Publication date： May. 10, 2007
Summary：

【課題】 電気性用力を用いる複数のモジュールを設置する際にも作業を簡単に行う。【解決手段】 電気性用力を用いて所定の処理を施すモジュールIM、MM、PM、WM、SMを有する。三つ以上設けられたモジュールのそれぞれの間で相互に電気性用力を非接触で伝送する伝送装置を備える。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

電気性用力を用いて所定の処理を施すモジュールを有する露光装置であって、 三つ以上設けられた前記モジュールのそれぞれの間で相互に前記電気性用力を非接触で伝送する伝送装置を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3)：

H01L21/30 503A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

F-Term (6)：

5F046AA28 ,  5F046CB01 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 電動機の無接触給電制御方法、該方法による分離型制御電動機、及び該分離型制御電動機を用いた機械装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-159614   Applicant：株式会社安川電機
• 米国公開第2005/0140955号パンフレット
  

Cited by examiner (5)

• 電動機の無接触給電制御方法、該方法による分離型制御電動機、及び該分離型制御電動機を用いた機械装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-159614   Applicant：株式会社安川電機
• 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-071466   Applicant：株式会社ニコン
• 能動的除振装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-041424   Applicant：キヤノン株式会社
• 位置決めステージ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-016857   Applicant：キヤノン株式会社
• リソグラフィシステムにおけるユーティリティ輸送システム
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2006-543953   Applicant：株式会社ニコン